1.中北大学前沿交叉科学研究院 太原 030051;2.中北大学理学院 太原 030051;3.中北大学微系统集成研究中心 太原 030051
TN389
2020年装备发展部型谱项目(项目编号:2006WW0011)
1.Academy for Advanced Interdisciplinary Research, North University of China, Taiyuan 030051, China; 2.School of Science, North University of China, Taiyuan 030051, China; 3.Center for Microsystem Intergration North University of China, North University of China, Taiyuan 030051, China
吴倩楠,范丽娜,李孟委. L~Ka波段MEMS单刀七掷开关的设计与研究[J].电子测量技术,2022,45(8):7-13
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