摘要:针对通信测试中需要模拟多种信号这一需求，提出一种大带宽、多通道的信号源硬件架构，以FPGA作为硬件控制核心以及基带信号发生器，利用FPGA中的高速串行收发器GTY，实现JESD204C接口协议，完成单Lane 16.5 Gbps的数据率传输。以CX8242K射频收发器为射频发射端，通过Microblaze进行配置，实现了调制信号从基带到高中频的高质量产生。针对目标频段，进行了频率规划，并设计了时钟方案和多通道同步方案。最终实现了一款具备宽频带、高精度、低杂散的国产化多通道矢量信号源。经测试证明，该矢量信号源能正常生成各种矢量调制信号，并实现10 M~6 GHz范围内的载波频率调节，支持单通道发射信号最大带宽高达800 MHz,在实际工程测试中有很高的应用价值。

摘要:针对投影式光刻机检焦系统对图像处理强实时性的需求，以FPGA芯片为载体，设计了一种基于SOPC的检焦图像实时处理系统。首先，使用Microblaze嵌入式软核执行图像处理算法，无需更改硬件架构即可进行系统方案验证和算法调试；然后，采用软硬件协同的方案，将算法移植到FPGA硬件中，实现了检焦流程的加速。FPGA片内通过AXI总线进行软硬件间数据交互，片外通过光纤接口与工件台互连，完成检焦结果的高速上传。实验结果表明，系统运行稳定，完成整个检焦流程需要104μs，软硬件协同实现速度约为软核实现的1700倍。